三次元精度校準也就是三坐標測量機，任何形狀都是由空間點組成，所有的幾何測量都可以歸結為空間點的測量，因此準確進行點坐標的采集，是評定任何幾何形狀的基礎。物體的長度測量是以點的坐標為基礎的，它分為空間一維、二維、三維測量，三坐標就在x、Y、z軸三個坐標位置的具體數值，根據這些點的數值經過計算機數據處理，從而得到被測零件的幾何尺寸、形狀偏差、位置偏差。
按照測量精度有低精度、中等精度和高精度的測量機。低精度的主要是具有水平臂的三坐標劃線機。中等精度及一部分低精度測量機常稱為生產型的。生產型的常在車間或生產線上使用，也有一部分在實驗室使用。高精度的稱為計量型，主要在計量室使用。
采用三次元精度校準檢測不僅給出各點的數據，而且給出了檢測圖形，精度大大提高，加工時間也縮短了不少。許多工裝、模板的形狀和位置度公差的檢測都是三坐標測量機完成的。
三坐標的使用為工廠高精度設備驗收提供保證企業在引進數控柔性加工設備，除了需進行靜態精度檢測驗收還有綜合精度檢測驗收。都可以用三坐標測量機檢測的，利用三坐標參與工廠高精度設備的驗收保證了關鍵設備的精度又驗證了關鍵件的加工程序，為產品質量的提高提供了保障。
幾乎所有類型的尺寸測量，三坐標測量儀都可以進行測量，通過構造特征，更是可以對平面度，圓度，同心度等等進行檢測。全自動三坐標測量儀使用的測量行業軟件，還可以導入CAD數模進行脫機檢測，使三坐標測量機不止有測量特征多，還具有測量速度快，效率高等優點。
