三次元精度校準是一種三坐標測量儀，作為高精度的測量設備，其優點就是精度高，三坐標測量儀的另一個優點就是測量的特征多，幾乎所有類型的尺寸測量，三坐標測量儀都可以進行測量，通過構造特征，更是可以對平面度，圓度，同心度等等進行檢測。三坐標測量儀使用的測量行業常用軟件pc-dmis軟件，還可以導入CAD數模進行脫機檢測，使三坐標測量機不止有測量特征多，還具有測量速度快，效率高等優點。
三次元精度校準按照測量精度有低精度、中等精度和高精度的測量機。低精度的主要是具有水平臂的三坐標劃線機。中等精度及一部分低精度測量機常稱為生產型的。生產型的常在車間或生產線上使用，也有一部分在實驗室使用。高精度的主要在計量室使用。
針對微小，易變形的工件，難以進行測量，是三坐標測量儀的缺點。因為三坐標測量機使用的是測頭探針進行接觸式的測量，如果工件太細小，探針無法進行探測，或者工件為軟薄等材質，接觸時會發生變形等等情況，都無法使用三坐標測量機進行測量。不過隨著三坐標測量機的發展，這一缺點正在慢慢的被修補，目前部分三坐標廠家，已經開始推出復合式三坐標測量儀，讓非接觸測量和接觸式測量進行結合的一種新型測量儀器。
一般在環境比較好的精測間中的測量機，我們推薦每三個月進行一次常規保養，而如果用戶的使用環境中灰塵比較多，測量間的溫度濕度不能*測量機使用環境要求，那應該每月進行一次常規保養，對測量機的常規保養，應了解影響測量機的因素。
