三次元移機的另一個優點就是測量的特征多，幾乎所有類型的尺寸測量，三坐標測量儀都可以進行測量，通過構造特征，更是可以對平面度，圓度，同心度等等進行檢測。
三次元移機作為高精度的測量設備，其優點當然是精度高，高精度可以達到1微米，甚至更高。為了保證三坐標如此的高精度，高品質品牌的三坐標測量機的光柵尺的精度更是達到了納米級別。還可以導入CAD數模進行脫機檢測，使三坐標測量機不止有測量特征多，還具有測量速度快，效率高等優點。
針對微小，易變形的工件，難以進行測量，是三坐標測量儀的缺點。因為三坐標測量機使用的是測頭探針進行接觸式的測量，如果工件太細小，探針無法進行探測，或者工件為軟薄等材質，接觸時會發生變形等等情況，都無法使用三坐標測量機進行測量。
三坐標測量機是基于坐標測量的通用化數字測量設備。它首先將各被測幾何元素的測量轉化為對這些幾何元素上一些點集坐標位置的測量，在測得這些點的坐標位置后，再根據這些點的空間坐標值，經過數學運算求出其尺寸和形位誤差。
根據測得點的坐標值可計算出孔的圓柱度誤差以及各截面圓的圓心坐標，再根據各圓心坐標值又可計算出孔軸線位置；如果再在孔端面A上觸測三點，則可計算出孔軸線對端面的位置度誤差。由此可見，CMM的這一工作原理使得其具有很大的通用性與柔性。從原理上說，它可以測量任何工件的任何幾何元素的任何參數。
