● 自主開發QMS3D軟件,可滿足不同客戶的測量需求 ● 具有快速自動對焦、自動尋邊,強大的編程和自動測量功能 ● 采用亞像素細分技術,提高邊界分辨能力 ● 配置操縱手柄,亦可軟件程控 ● SPC數據處理分析,大批量治具測量 ● X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運行平穩 ● 采用自主開發的嵌入式模塊控制系統,將復雜的控制系統集成于儀器內部,穩定性更高 ● 程控恒流驅動式八區表面冷光光源,可適應復雜的工件測量 ● X、Y向導軌采用高精度花崗石,具有高穩定性機剛性,不易變形 ● X、Y向移動的部分采用低摩擦、高速度、高精度的氣浮移動導向系統 ● 采用氣浮傳動,精度高、穩定性好 ● 花崗石直線度和玻璃平面度好,花崗石導軌無摩擦、不磨損 ● 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置,快速定位,方便快捷 ● 可選配自動變倍鏡頭、同軸光鏡頭、激光位移器、白光納米檢測模組、簡易測頭 | |||||
技術規格參數 | |||||
機臺結構 |
型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
X/Y軸行程(mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
玻璃臺尺寸(mm) | 885*1158 | 1170*900 | 1170*900 |
外形尺寸(mm) | 2170*2380*1560 | 2370*2580*1560 | 2570*2880*1560 |
整臺重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
Z軸運動行程 | 200mm |
X/Y軸zui大速度 | 300mm/s |
光學系統 |
變倍鏡頭 | 進口 倍率 0.7X~4.5X |
光源 | 表面光源-LED表面環形光源 底光源-LED新型直線光源 |
光學尺分辨力 | 0.5μm |
X/Y示值誤差 | (3+L/200)μm |
攝像機 | 彩色1/2"CCD攝像機 |
激光平面度測量 | 重復性3μm(選配激光位移器時) |
物方視場 | 11.1mm~1.7mm |