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● 自主開發QMS3D軟件，可滿足不同客戶的測量需求 ● 具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能 ● 采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力 ● 配置操縱手柄，亦可軟件程控 ● SPC數據處理分析，大批量治具測量 ● X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩 ● 采用自主開發的嵌入式模塊控制系統，將復雜的控制系統集成于儀器內部，穩定性更高 ● 程控恒流驅動式八區表面冷光光源，可適應復雜的工件測量 ● X、Y向導軌采用高精度花崗石，具有高穩定性機剛性，不易變形 ● X、Y向移動的部分采用低摩擦、高速度、高精度的氣浮移動導向系統 ● 采用氣浮傳動，精度高、穩定性好 ● 花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損 ● 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷 ● 可選配自動變倍鏡頭、同軸光鏡頭、激光位移器、白光納米檢測模組、簡易測頭 | |||||
| 技術規格參數 | |||||
| 機臺結構 |
| 型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
| X/Y軸行程(mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
| 玻璃臺尺寸(mm) | 885*1158 | 1170*900 | 1170*900 |
| 外形尺寸(mm) | 2170*2380*1560 | 2370*2580*1560 | 2570*2880*1560 |
| 整臺重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
| Z軸運動行程 | 200mm |
| X/Y軸zui大速度 | 300mm/s |
| 光學系統 |
| 變倍鏡頭 | 進口 倍率 0.7X～4.5X |
| 光源 | 表面光源-LED表面環形光源 底光源-LED新型直線光源 |
| 光學尺分辨力 | 0.5μm |
| X/Y示值誤差 | (3+L/200)μm |
| 攝像機 | 彩色1/2"CCD攝像機 |
| 激光平面度測量 | 重復性3μm(選配激光位移器時) |
| 物方視場 | 11.1mm～1.7mm |
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